•高强度、高硬度、高耐磨性 (硬度仅次于钻石)
•高透光率 (在紫外线到红外线的范围中内透光)
•高耐腐蚀性 (对酸・碱・电浆耐受性高)
•高绝缘性 (绝缘体,不易导电)
•高耐热性 (熔点2050℃) 热传导性 (玻璃的40倍)
•薄膜形成用基板 (LED、电源装置、高频率电波装置)
•接合用基板 (硅/蓝宝石→通信设备等、 LT(钽酸锂/蓝宝石→SAW(表面声波)滤波器)
•光学窗口 (激光、手表、Chamber等)
•透明散热基板
•晶圆载体(薄化工程用支持基板、治具用等
•标准的尺寸(φ2”,3”,4”,6”,8”,12”)、其他特殊尺寸、角形等各种形状都可对应。
•可对应各种面方位: c-plane, r-plane, m-plane, a-plane
•双面研磨、单面研磨
•可客制化打孔加工
•厚度公差: 标准规格: ±15~25μm
敝司特殊规格:±0.3μm
•TTV(厚度分布):标准规格 ≦10~20μm
敝司特殊规格:≦2.5μm(双面研磨)、≦3.0μm(单面研磨)
➡ 使用案例: 晶圆载体、接合用基板
期待效果:使用者的良率提高。
•高洗净度: 低颗粒粒子、低金属污染
➡ 使用案例: 成膜用基板、接合用基板
期待效果:使用者可再使用前省略清洗步骤、改善良率。
高清洁度
高平坦度
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