飞秒激光多焦点全息光刻
飞秒激光多焦点全息光刻

飞秒激光多焦点全息光刻获得了广泛的国际认可, 并成功申请多项美国。通过大幅降低微增材制造的成本,FP NanoPrinter实现了 30 纳米分辨率下的3D打印,并成功应用于工业规模的多材料 3D 纳米加工。这项突破性的加工技术将为高精密注塑、光学、生物医疗、芯片和超材料等不同行业开创全新的可能。

产品特点

通过将 DMD 同时用作动态衍射光栅与可编程掩模,结合空间和时间聚焦技术,生成具有可控深度分辨率的光片,从而实现大面积、快速且高精度的光聚合加工。系统中的飞秒光片与高精度位移平台协同运动,可在光敏材料中高效地构建复杂的三维微纳结构,具备优异的横向和轴向分辨能力。相比传统依赖逐点扫描的双光子光刻方法,FP NanoPrinter 采用面曝光策略,一次成像即可构建包含大量体素的截面图案,显著提升制造效率。这一并行制造机制使得其在构建具有内嵌悬垂结构、分层通道等复杂几何形状时表现出强大的能力。已著作技术显著简化了传统飞秒加工中冗长的激光曝光流程,在保持高分辨加工质量的同时,有效降低了运行成本和能耗。因此,它为大规模微纳制造提供了切实可行的路径,尤其适用于快速原型制造、精密器件开发及柔性生产线中的定制化微结构构建等高价值场景。


飞秒投影3D纳米打印-1.jpeg

飞秒投影3D纳米打印-3.jpeg


产品参数

技术参数

描述

应用

双光子聚合打印

打印技术

投影光刻

小特征尺寸 (XY / Z)

142 nm* / 175 nm*

分辨率 (衍射极限, XY / Z)

285 nm* / 500 nm*

层间距

≥0.05µm*

打印速率

100 mm3/hr*

可并行写入焦点

≥100

多焦点控制

任意单焦点编辑控制

小表面粗糙度

≤ 20 nm

激光安全

Class 4

软件

包含

AstraWrite

专属 GUI

数据输入

各种图像文件(.bmp, .stl)

重量(不带光学桌)

500 kg

工作温度

23 ± 1

相对湿度

< 50% (< 35% 推荐)

房间照明

≥ 590 nm操作时照明

颗粒物

Class 10000

电源

220V, > 35 A

振动等级

需要隔振和阻尼; 房间内无振动源

压缩空气供应

0.55   ±0.03MPa,流量40   SLPM

环境空气要求

20 厘米范围内无明显气流

海拔

高2500 m

*由系统设置、打印参数、物镜、现场温度和条件决定。

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