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日本Lasertec是一家半导体检测设备的公司,成立于1960年,主要提供半导体(晶圆/光罩)与LCD检测设备,与美国半导体设备厂商KLA具有毫不逊色的技术和产品。
业界首推出混合激光共聚焦显微镜,基于激光加白光的双光学系统,使其可以满足多种测试需求。
激光加白光双光学系统,具有六大功能
白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉、反射分光膜厚测试、相差干涉测试、垂直白光干涉测试
HYBRID 提供高速自动测量,测量速度(15Hz 至 120Hz 帧速率)
自动缺陷检测和缺陷分类
宽度方向可重复性3σ=10nm 高度方向可重复性σ=10nm
可实现3D测量、二维测量、表面粗糙度测量、薄膜厚度测量
固话:010-69798892
鲁工:13910937780(微信同号)
王工:17600738803(微信同号)
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