共聚焦显微镜
自动缺陷检测系统AI2

Lasertec自动缺陷检测系统 OPTELICS AI2自动缺陷检测、高倍率缺陷观察、3D形状测量,多步解析,一台实现。

产品说明

日本Lasertec公司推出了OPTELICS AI2 通过共聚焦光学系统搭载Lasertec在半导体缺陷检测多年的自动缺陷测量软件。可自动检测缺陷、

自动识别缺陷类型,自动分类等功能。

  • 亚微米级感度・高分辨率・高对比度

    特点1.PNG  

    特点2.PNG


主要特点

自动缺陷检测、自动分类

亚微米级感度、高分辨率、高对比度

追踪式对焦、联系扫描成像

北京欧屹科技有限公司

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