新品发布-碳化硅晶圆应力双折射测量系统
发布时间:2023-02-09 17:49:11
发布人:OE
浏览次数:
Photonic Lattice, Inc.公司针对晶圆厂对晶圆缺陷检测的需求,推出了晶圆双折射测量装置,让客户高效的得到晶圆的双折射信息,目前在SIC、蓝宝石、GaN、金刚石等应用成熟。
蓝宝石面板的应力双折射测量实例
Sic晶圆的测量实例