新一代全检膜厚测量椭偏仪ME-210（-T）

发布时间：2023-01-13 09:54:51

发布人：admin

浏览次数：

常规椭偏仪通常只能对一点进行膜厚测量，而且单点测量也需要耗费时间，虽然也有可以做到自动扫描检测整个样品膜厚状况的手段，但是点数和时间以及精度往往无法满足工业客户的需求。

对客户的这一痛点日本Photonic lattic 通过以自研的偏振传感器为核心的新一代全检膜厚测量椭偏仪，可以做到1000点/分钟，6寸产品快可以在3分钟内完成，不仅如此，ME-210-T针对透明基板也可测量。

高速/面分布测量
大每分钟1000点以上超高速全面测量膜厚，短时间内就可以取得整个产品膜厚和分布图