PHL公司推出晶圆双折射检测新方案
发布时间：2020-04-08 16:36:00
发布人：OE
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PHL公司针对晶圆厂对晶圆缺陷检测的需求，推出了晶圆双折射测量装置，让客户高效的得到晶圆的双折射信息，目前在SIC、蓝宝石、GaN、金刚石等应用成熟。
下为蓝宝石面板的应力双折射分布，整体的应力双折射很小，而且蓝宝石的结构具有方向性，测量的难度比其余产品要高一下，通过PA-300-XL结合远心镜头，可以高效的进行测量。
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