新品发布-ELIONIX纳米压痕仪
应用:
功能性树脂薄膜和表面改性薄膜
半导体器件,薄膜
树脂材料、薄膜材料
硬质涂层,DLC薄膜
金属材料,陶瓷材料
无铅焊料
细颗粒和粉末材料
生物材料,生物及仿生组织等等
电镀和硬膜等薄膜材料
特点:
可以获得薄膜、极性表面和微小区域的硬度和弹性模量等机械性能。
由于分析载荷和位移曲线以确定特性,因此无需观察压痕。
符合ISO 14577-1/JIS Z 2255标准
外部及内部温度控制
防震机构
压头校正、温度校正日常检测提醒
数据再现性 ・该机制可抑制振动和温度变化等外部干扰的影响,提高
数据的再现性 ・即使在连续测量中也能实现稳定的
高负荷单元和低负载单元的更换
方便 ・通过更换设备进行设备校准,减少设备停机时间
▶ 高负载单元
・可测试高达 5 μN ~ 2000mN。
・可对从金属材料到聚合物材料的各种材料进行硬度测试。
▶ 低负载单元
- 兼容 0.5 μN ~ 10 mN。
・对于软材料(弹性模量:几GPa以下)
和压痕深度为100nm或更小的测量,可以获得出色的重复性和稳定性,从而可以对10nm或更小的超薄膜进行纳米压痕测试。
・适用于评估
UV固化树脂和薄膜等功能性树脂、硅橡胶等其他弹性材料以及DLC薄膜等超薄硬膜的机械特性。
其他功能
表面轮廓测试
粘弹性测试
软化温度测量
水下测试
颗粒强度测试
电阻测试
三位一体
它可以与其他测试(例如我们的ERA系列的3D测量功能和EDS / EBSD分析)相关联。
表面力测试(仅限低负载单元)