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通过专用软件完成微纳结构设计,系统自动将图形数据转换为控制指令,简化打印流程。
紫外激光束经声光调制器和高精度振镜系统协同调制,通过高数值孔径(NA)物镜精准聚焦至光刻胶表面,曝光质量。
激光束沿预设路径执行高速、高精度的逐点扫描曝光,实现亚微米级分辨率的稳定控制。
设备体积小巧,可灵活置入手套箱内,在恒定氛围环境中稳定运行,满足钙矿等氛围敏感材料的研发与测试需求。

微纳材料与器件原型制备
适用于量子点、功能薄膜、微电 极及微纳光电器件样品的高分辨 图形化加工。

微光学与衍射功能结构
适用于衍射光学元件(DOE)、周期/非 周期微结构、功能表面纹理及微光学原 型的高精度制备。

科研样品快速制备与工艺验证
面向高校、科研院所及企业研发部门, 支持微纳结构样品的快速制备、参数 优化与实验验证。

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