Lasertec自动缺陷检测系统 OPTELICS AI2自动缺陷检测、高倍率缺陷观察、3D形状测量，多步解析，一台实现。
日本Lasertec公司推出了OPTELICS AI2 通过共聚焦光学系统搭载Lasertec在半导体缺陷检测多年的自动缺陷测量软件。可自动检测缺陷、
自动识别缺陷类型，自动分类等功能。
亚微米级感度・高分辨率・高对比度
自动缺陷检测、自动分类
亚微米级感度、高分辨率、高对比度
追踪式对焦、联系扫描成像
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