日本Mitaka（三鹰光器）三维形貌测量仪NH系列，使用激光自动对焦技术在半导体工业和超精密加工领域得到广泛应用。通过光学非接触式的测量，可以全自动并高精度的测量工件的三维形貌。
日本mitakakohki（三鹰光器）将深耕多年天文和医学领域精密光学技术，应用于工业领域。
使用激光自动对焦的非接触式三维测量设备在半导体工业和超精密加工领域得到广泛应用。
非接触式不受样品材质、表面结构的影响
可测量多反射率产品
可测量大倾斜角度样品
数十um到数百mm宽视野范围
XY分辨能力：0.1um、0.01um（型号 ：NH-3SPs）
Z分辨能力：0.01um、0.001um（NH-3SPs）
XY测定范围：150mm（NH-3Ns/NH-3SPs）、200mm（NH-4Ns）、400mm（NH-5Ns）
Z测定范围：10mm
固话：010-69798892
鲁工：13910937780（微信同号）
王工：17600738803（微信同号）
传真：010-69798893 邮箱：sales@oelectron.com地址：北京市昌平区回龙观龙冠大厦614室
北京欧屹科技有限公司 版权所有 © 2022 All Rights Reserved. 京ICP备15048507号 技术支持：助标网络
