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列真公司在半导体光罩检测设备上积累了独自技术， 主产品 LODAS ™系列具有日本权 (号：2017-096912、2019-179097、2019-082496)的激光检测技术。
可同时探测收集激光的反射光，透射光以及共聚焦，可一次性检查第三代半导体 SIC 等材料表面，背面和内部的缺陷，可探测小缺陷为100 纳米，
主要用于SIC、半导体光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、内部、背面的缺陷检查 。将此项技术运用于第三代半导体材料的缺陷检查，将提升量产成品率将具有重要意义。
SiC、GaN
半导体光罩（石英玻璃与涂层）、
石英Wafer Si Wafer
HDD Disk LT Wafer
蓝宝石衬底、
EUV光罩、
光罩防尘膜
可全面检测 表面、内部、背面的缺陷
外延缺陷
胡萝卜型缺陷
彗星缺陷
三角缺陷
边缘缺陷
衬底缺陷
微管缺陷
层错缺陷
六方空洞缺陷
缺陷检测对象和种类
固话：010-69798892
鲁工：13910937780（微信同号）
王工：17600738803（微信同号）
传真：010-69798893 邮箱：sales@oelectron.com
地址：北京市昌平区回龙观龙冠大厦614室
