光学检测设备_仪器_应力双折射仪_北京欧屹科技有限公司

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膜厚测量椭偏仪 ME-210（-T）

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<p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);">高速椭偏仪，可全面测量8英寸晶圆，可高速、高密度地测量 1um 或更低的厚度变化。此外，</span>......</p>
晶圆缺陷检测系统LODAS

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<p style="line-height: 2em;"><span style="font-family: SourceHanSerifCN-Regular; font-size: 16px;">可一次性检查第三代半导体 SIC 等材料表面，背面和内部的缺陷，可探测最小缺陷为100 纳</span>......</p>

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