无掩膜光刻机UTA系列是将DLP投影仪盒金相显微镜相结合的缩小投影型无掩模曝光系统,其价格低于传统系统(用于掩膜光刻的图案投影曝光系统) 可以使用专门为此目的开发的软件来创建想要的图案。
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