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新一代全检膜厚测量椭偏仪ME-210(-T)
来源: | 作者:小欧 | 发布时间: 82天前 | 150 次浏览 | 分享到:


    常规椭偏仪通常只能对一点进行膜厚测量,而且单点测量也需要耗费时间,虽然也有可以做到自动扫描检测整个样品膜厚状况的手段,但是点数和时间以及精度往往无法满足工业客户的需求。

    对客户的这一痛点日本Photonic lattic 通过以自研的偏振传感器为核心的新一代全检膜厚测量椭偏仪,可以做到1000点/分钟,6寸产品最快可以在3分钟内完成,

    不仅如此,ME-210-T针对透明基板也可测量。


 高速/面分布测量

  最大每分钟1000点以上超高速全面测量膜厚,短时间内就可以取得整个产品膜厚和分布图


 

微小领域测定(20un左右)

  可简单测量任意微小区域

 

 

透明基板上的薄膜厚度也可测量

 适用于玻璃基板上的极薄膜测定